扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史,传统的真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电量比较高的电阻丝通过烧红来烘烤真空锅炉(扩散泵)底部,从而加热里面的导热油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。这种加热方式使得大部分的热量散发到空气中,导致损失大量的热量,使得工作环境温度变高。虽然制作成本低廉,但存在着以下问题:
电磁加热的原理是通过电子线路板组成部分产生交变磁场、当用含铁质容器放置上面时,容器表面具即切割交变磁力线而在容器底部金属部分产生交变的电流(即涡流),涡流使容器底部的铁原子高速无规则运动,原子互相碰撞、摩擦而产生热能。从而起到加热物品的效果 在常温下一台直径830mm扩散泵用传统15kw电阻丝需费时70-90分钟,温升220度且不能再升温,而用15kw电磁加热线盘只需20分钟内可温升达到260度,大大缩短预热时间,提高了生产效率,且用电磁加热方式,温度达到后设备会处于一种保温(间断工作)工作方式,使得设备节省大量的电量。在设备停机时,如果采用电阻丝加热方式的,冷却泵还要工作很长的一段时间才能停,因为用电阻丝制成的电炉在设备停机后还储存大量的热量(浪费的)。而电磁加热用的线盘是没有热量的(可以用手去触摸),设备停机后,很快就可以把冷却泵停掉。从而也节省了冷却泵的用电量。由此可见电磁加热比传统电阻丝加热至少节能30%-50%以上。 三、综合效益计分析: (责任编辑:佛山江信电子) |
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